小结

本章主要介绍了工业硅的生产和制备高纯硅的两种方法，即三氯氢硅还原制备高纯硅和硅烷热分解法制备高纯硅。其中重点介绍了三氯氢硅还原制备高纯硅的工艺步骤、原料制备和每一步骤的相关化学反应等。硅烷热分解法制备高纯硅部分介绍了硅烷的性质、硅烷的制备和提纯以及硅烷热分解沉积出高纯多晶硅的方法。